Оптические профилометры MicroXAM являются приборами широкого спектра применений. Они используются в таких разнообразных областях исследований как: измерение толщины покрытий, исследований сложных МЭМС и т.д.
Принцип действия оптического профилометра (интерферометра) заключается в том, что свет, излучаемый с источника, отражаясь от исследуемой и опорной поверхностей, образует интерференционную картину, которая затем регистрируется видеокамерой. Затем данные обрабатываются и набор интерфереционных картин преобразуется в карту уровней поверхности высокого разрешения.
Оптический профилометр MicroXAM-1200 объединен с младшей моделью MicroXAM-100 принципом действия, однако, является более продвинутым по своим измерительным характеристикам прибором.
Измерительные характеристики |
|
СКО измерений |
0,01 нм (1σ) |
Воспроизводимость измерений вертикальной ступеньки |
1 нм или 0,1% (1σ) |
Класс точности |
0,1 |
Вертикальный диапазон сканирования |
10 мм |
Скорость вертикального сканирования |
До 7,2 мкм/с |
Площадь обзора |
82х62 мкм – 5,3х4,0 мм |
Характеристики оборудования |
|
Разрешение видеокамеры |
752х480 для аналоговой видеокамеры 1000х1000 для цифровой видеокамеры (опция) |
Диапазоны перемещения предметного столика X-Y |
100х100 мм 150х150 мм 200х200 мм |
Диапазон отклонения зонда |
±7° |
Привод вращения видеокамеры |
±90°, червячная передача |
Персональный компьютер |
Pentium 4, 160 Gb HDD, 1 Gb RAM, CD-RW/DVD ROM, Windows XP Professional OS, 19’’ LCD |
Коэффициент увеличения объективов |
50х, 20х, 10х, 5х, 2,5х |