Описание:

Высокопроизводительная автоматизированная система для осмотра кромки пластин и анализа снятия краевого валика (EBR-метрология). Полный осмотр всех пяти краевых зон. Наименьшая стоимость обслуживания в индустрии позволяет осуществлять наблюдение за всеми этапами производства

 

Особенности:

• Точность обнаружения дефектов до 10 мкм при 150 пластин/час.
• Инспекция граней по пяти зонам; плоские и структурированные грани.
• Параллельная многоканальная метрология EBR/WEE – анализ снятия краевого валика.
• Наименьшая в индустрии стоимость обслуживания среди подобных систем.
• Технологии отображения дефектов HSEB IP для качественного отбора продуктов.
• Функция сортировки и манипуляторы для толстых/тонких пластин.
• Система также доступна в виде модуля для объединения с другими системами разработанными HSEB.

Основные возможности:

• Возможно использование как отдельно, так и в качестве модуля ODIN, WOTAN или AXIOSPECT‎
• Легкий в интеграции модуль.
• Поиск дефектов на поверхности, углах и вершинах (пыль, следы от неосторожного обращения, сколы, ‎расслоения, etc.)‎
• Контроль снятия краевого валика (EBR-метрология)

Выявление дефектов, сколов и трещин на краях пластин

• Изображение сверху показывает всю поверхность грани пластины со сжатием 1:10 в горизонательном(угловом) направлении.
• Изображения ниже показывают детали дефектов в светлом и темном поле.

Метрология EBR

Метрология EBR может выявлять несколько граней сопротивления одновременно. Результаты измерений используются для мониторинга и под- гонки производственных инструментов.

Метрология медного покрытия

Сканирование граней выявляет недопустимые значения эксцентриситета, что сразу же отображается в результатах измерений и позволяет выполнить коррекцию.

Сварка-3D- компоновка

С помощью метрологии системы THOR пластины, сваренные с отклонением от концентрической формы, легко выявляются и отбраковываются.

Инспекция всех зон

Расширенные возможности измерений 

• Анализ снятия краевого валика: многопоточные EBR-измерения
• Поиск дефектов и измерения производятся как на пустых, так и на напечатанных участках‎
• Контроль снятия краевого валика экспонированием (WEE-мониторинг)