Область применения:
TFSP-840 – установка для осаждения тонких пленок методом магнетронного распыления. Применение: обучение, исследования и разработки, производство мелких и средних партий продукции.
Техническая спецификация:
Вакуумная камера
|
Прямоугольного типа из нержавеющей стали с полно-открываемой передней дверью и портом наблюдения на двери диаметром 100 мм
|
Система откачки
|
Турбомолекулярный или криогенный вакуумный насос, сухой спиральный или пластинчато-роторный форвакуумные насосы
|
Подложко-держатель
|
Вращаемый для подложек до 150 мм в диаметре
|
Источники
|
Один или несколько магнетронов
|
Режим работы
|
ВЧ, ПТ или импульсный ПТ
|
Газовые линии
|
1-4 канала с РРГ и запорными клапанами (конструкция клапанов с сильфонным уплотнением)
|
Опциональная спецификация:
- Сеточный/бессеточный ионный источник.
- Рабочая камера D-формы, камера типа колпак, камера для встройки в лицевую панель чистой комнаты и др.
- Изолированный подложкодержатель для возможности травления или очистки.
- Контроллер скорости и толщины осаждения с кварцевыми датчиками.
- Датчик измерения резистивности пленок и контроллер.
- Загрузочная камера для подачи подложек диаметром 75 мм.
- Нагрев кварцевыми лампами.
- Перестраиваемый по высоте привод подложкодержателя.
- Шаговое позиционирование подложкодержателя.
Особенности:
- Качество и надежность при доступной цене.
- Компактная конструкция, небольшая занимаемая площадь.
- Очень «гибкая» комплектация установок под требования заказчика.
- Большое количество опций, в т. ч. загрузочные камеры разных модификаций, ручная или автоматическая загрузка.
- Большой выбор опций катодов распыления, включая широкий ряд источников питания.